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氮化硅陶瓷基板



【產品簡介及應用】:

隨著半導體器件沿大功率化、高頻化、集成化的方向迅猛發展,熱管理成為保障器件可靠性的重點。在新能源汽車、高鐵、航空航天等領域,半導體器件使用過程中往往要面臨顛簸震動等復雜力學環境,對材料的力學性能提出苛刻要求。氮化硅陶瓷具備高熱導率、高強度、高韌性等特點,綜合性能明顯優于氧化鋁、氮化鋁等基板材料,屬于陶瓷電路基板中的高端產品。

選擇氮化硅陶瓷基板的優勢:

性能

氧化鋁

氮化鋁

氮化硅

密度(g/cm3)

3.70

3.30

3.22

抗折強度(MPa)

350

450

600

韌性(MPa·m)

3

3

6

熱膨脹系數(10-6/K , 100°C)

5.2

4

2.6

熱導率[W/(m ? K) , 25°C]

24

180

60-90

比熱[J/(kg ? K) , 25°C]

750

720

680

介電常數(1MHz)

9~10

8.8

9.0

介電損耗(1MHz,10-4)

3

3

3

電阻率(cm , 25°C )

1014

1014

1014

抗電強度(KV/mm)

15

12

12

應用領域:絕緣柵雙極型晶體管、 高鐵、 LED照明新能源汽車、航空航天、風力發電







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